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扫描步进式光刻机。(招标预告)

所属地区 北京 - 海淀 预算金额
项目编号 投标截止日期
招标单位 清华大学 招标联系人/电话
代理机构 代理联系人/电话
  • 公告详情
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  教育部申请****扫描步进式光刻机 采购项目采用单*来源方式采购,项目预算金额 *****.****** *元(人民币),该项目拟由制造商:佳能株式会社 ***** ***.;制造商地址:东京都大田区下丸子*-**-* **-*, *********** *-*****, ****-**, ***** ***-****, *****提供(或承担)。现将有关情况向潜在****供应商征求意见。征求意见期限从****年**月**日至 ****年**月**日 止。

  潜在****供应商对公示内容有异议的,请于公示期满后*个工作日内以实名书面(包括联系人、地址、联系电话)形式将意见反馈至财政部国库司****管理处(联系电话:***********;***********)和教育部(联系人:倪老师,联系电话:********),以及使用单位****(地址:****市****区清华园,联系人:****, 联系电话:********)。

附件:

*、专家论证意见及专家姓名、工作单位、职称;

(*) *-单*来源论证专家意见表扫描件--扫描步进式光刻机_部分*.***; (*) *-单*来源论证专家意见表扫描件--扫描步进式光刻机_部分*.***; (*) *-单*来源论证专家意见表扫描件--扫描步进式光刻机_部分*.***;

****年*月**日

单*来源采购专家论证意见表
时间:****年*月**日
专家论证意见 扫描步进式光刻机能够实现*英寸晶圆的高精度、高效率光刻曝光,是先进集成工艺研发和微机电系统器件、微电子器件研制的核心工艺设备,能够促进****高技术实验室教学、科研的发展。拟采购的扫描步进式光刻机设备的关键技术指标:①全新设备;②分辨率≤*****;③层间套刻精度≤****;④晶圆尺寸*英寸;光强均匀性≤±*.*%;自动对焦精度**≤*****经过市场调研,国外****和尼康公司不能提供最近技术的全新设备及相关技术支持,国内上海微电子装备股份有限公司设备无法满足光强均匀性和自动对焦精度关键技术指标。仅有佳能公司的***-********设备,各项关键指标均可以满足****高技术实验室的教学、科研需求。鉴于上述原因,我认为本项目必须以单*来源的方式从佳能公司(********)采购。专家姓名:****称:高级子科师工作单位:中国科学院院半导结研会所
项目金额 ******元
项目名称 扫描步进式光刻机
使用单位 ****
主管单位 教育部
单*来源采购专家论证意见表
时间:****年*月**日
专家论证意见 扫描步进式光刻机是先进集成工艺研发和微机电系统器件、微电子器件研制的核心前道工艺设备,能够促进****高技术实验室教学、科研的发展。拟采购的扫描步进式光刻机设备的关键技术指标:①全新设备;②分辨率≤*****;③层间套刻精度≤****;④晶圆尺寸*英寸;光强均匀性≤±*.*%;自动对焦精度**≤****。上述指标能够实现平台*英寸晶圆的高精度、高效率光刻曝光。经过市场调研,国内上海微电子装备股份有限公司的步进式光刻机主要用于封装工艺,且无法满足光强均匀性和自动对焦精度关键技术指标;国外****和尼康公司不能提供最新技术的全新设备。仅有佳能公司的***-********设备,各项关键指标均可以满足****高技术实验室的教学、科研需求。鉴于上述原因,我认为本项目必须以单*来源的方式从佳能公司(********)采购。专家姓名:职称:工作单位:
项目金额 ******元
项目名称 扫描步进式光刻机
使用单位 ****
主管单位 教育部
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